而全氟烷氧基樹(shù)脂（PFA）的極高的化學(xué)純度、優(yōu)異的耐腐蝕性、低的析出特性等獨特的性能也使其廣泛地應用于了半導體的制造中尤其是那些需要超凈的工藝環(huán)節。

1. 高純化學(xué)品輸送管路與閥門(mén)  

PFA 制成的管道、接頭和閥膜用于輸送蝕刻液（如氫氟酸、硫酸）、清洗劑等高純化學(xué)品，避免金屬離子污染。

2. 蝕刻與清洗槽體

大型 PFA 襯里槽用于盛放蝕刻劑和超純水清洗硅片，其抗粘附表面防止殘留物附著(zhù)，保證晶圓表面潔凈度。

3. 晶圓載體（Wafer Carrier）與花籃  

通過(guò)注塑成型制造的 PFA 晶圓載體、花籃在濕法工藝中承載硅片，因其不釋放雜質(zhì)且耐高頻次酸、堿清洗。

4. 氣相沉積腔室內襯與部件  

PFA 用于制作化學(xué)氣相沉積（CVD）等設備的腔室內襯、氣體分配管，防止在高溫、腐蝕性氣氛下產(chǎn)生顆粒污染。

5. 超高純水系統管路  

采用在PFA的管道中對超純水的輸送手段，不但能有效的防止了水質(zhì)在輸送過(guò)程中被管壁的溶出物所污染，而且還能滿(mǎn)足半導體級的水質(zhì)要求。

6. 光刻工藝中的防反射涂層與抗蝕劑組件  

PFA 被用于涂覆在光刻掩?；蜱R片上作為防反射層，并在光刻膠顯影槽中作為耐化學(xué)藥劑的槽體材料。

7. 真空泵工作液

部分全氟聚醚（PFPE）類(lèi) PFA 用作真空泵的工作流體，在半導體工藝真空環(huán)境中保持穩定且不產(chǎn)生殘留。

依托于充分地發(fā)揮了PFA的獨特的化學(xué)惰性、高的純度及良好的機械成型性等優(yōu)良的性能，有效地降低了半導體的缺陷率和提高了產(chǎn)品的良率。隨著(zhù)工藝的不斷精細化對PFA材料的純度與性能的要求也在不斷的提高了。

以上關(guān)于PFA 材料在半導體制造中的具體應用案例內容為上海春毅新材料原創(chuàng )，請勿轉載！